随着功能性薄膜在新型显示、新能源电池等领域的深度应用,终端产品对长期可靠性的要求提升,薄膜材料必须满足优异的表面润湿性、物理化学性能稳定以及表面洁净度高等需求。然而,基材表面惰性、...
等离子清洗技术作为一种干式、环保的表面处理工艺,在工业制造中发挥着重要作用。其通过等离子体与材料表面的物理化学反应,实现清洁、活化和改性效果。
在封装行业中,等离子清洗是一种先进的清洗技术,它可以通过改性表面,增强粘合、去除污染物,增强表面附着力、增强产品的质量、提高良率、降低成本和提高生产效率等方面,为封装过程提供更好的环境和条件。
通过对工艺气体施加电场使电离化为等离子体。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、自由活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质进行氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理和化学反应改变样品表面性质,...
晟鼎等离子去胶机广泛应用于半导体制造、MEMS器件、光电子元件、先进封装等高科技领域的表面去胶、活化及表面处理等关键工艺。
传统湿法去胶在面对复杂三维结构、敏感材料和严苛尺度时局限性凸显,而等离子干法去胶技术利用高能等离子体去除光刻胶,去胶彻底且速度快,无需引入化学物质,避免造成材料损伤,已逐渐成为先进封装工艺链中不可替代的核心制程。
等离子清洗机(plasma cleaner),利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离...