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微波等离子在半导体去胶的应用

何为半导体晶圆plasma除胶?

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半导体加工工艺及其它薄膜加工工艺过程中,各类光刻胶的等离子去除,去除材料表面污染物,保证与其他材料的结合能力。


除胶之外,微波等离子还有什么应用?

FC封装微波等离子处理

金属键合前处

晶圆表面活化


SINDIN自主研发,掌控核心技术

国内首家自主研发微波半导体去胶发生器技术;

磁流体旋转架,保证处理效果均匀;

微波无放电电极,高效均匀,保证刻蚀率;

低温等离子体,避免产生热损伤;

自偏压要求低,微波结和磁路可以兼容。


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